El chorro de magnetrón de radiofrecuencia es una tecnología común de preparación de películas finas, que puede aumentar efectivamente cambiando la temperatura de deposición.
Película delgada de óxido de indio y estaño (ito)Propiedades eléctricas y ópticas. Este artículo de Ciencia y tecnología de la academia avanzada explorará este punto de vista a través de ejemplos y datos citados, y analizará en profundidad el punto de vista.
I. el efecto de la temperatura de deposición en la morfología de la superficie de las películas Ito
1.1 El tamaño del grano aumenta con el aumento de la temperatura
Después de observar la morfología de la superficie de las películas Ito mediante microscopía electrónica de barrido (sem), se encontró que con el aumento de la temperatura del sustrato, el tamaño del grano de las películas Ito mostró una tendencia al aumento. Por ejemplo, cuando la temperatura del sustrato es de 200 ° c, el tamaño del grano es menor, mientras que cuando se eleva a 300 ° c, el tamaño del grano aumenta significativamente. Esto demuestra que durante el proceso de pulverización, las altas temperaturas de deposición son propicias para el crecimiento y crecimiento de granos.
1.2 efectos de la morfología de la superficie en las propiedades eléctricas y ópticas
Película ItoLa morfología de la superficie juega un papel importante en sus propiedades eléctricas y ópticas. El mayor tamaño del grano suele ir acompañado de una superficie más lisa, lo que aumenta la movilidad electrónica de las películas ito, lo que conduce a la preparación de películas de baja resistencia. Al mismo tiempo, la transmisión óptica también aumentará con el aumento del tamaño del grano, lo que hará que las películas Ito tengan una mejor transparencia en la banda de 800 nm.
II. efectos del recocido posterior en las películas Ito
Después del tratamiento de recocido posterior, las propiedades eléctricas de las películas Ito se pueden mejorar aún más. Por ejemplo, las muestras depositadas en condiciones de pulverización con una presión de trabajo de 1 pa, una temperatura del sustrato de 200 ° C y una potencia de entrada de 200 w, después de dos horas de recolocación al vacío a 300 ° c, obtuvieron películas Ito con una baja resistencia de 12,8 × 10 - 4 Ohm · cm y una alta Transmisión del 94%. Esto demuestra que el proceso de recocido ayuda a eliminar las impurezas y defectos en la película, mejorando la conductividad eléctrica y la transmisión de la película.
III. Conclusiones
El chorro de magnetrón de radiofrecuencia es un método eficaz.
Película ItoTecnología de preparación. Al cambiar la temperatura de deposición, se pueden optimizar las propiedades eléctricas y ópticas de las películas ito. A través de la observación SEM y el tratamiento de recocido posterior, podemos obtener películas Ito con estructura superficial lisa y gran tamaño de grano, obteniendo así propiedades de baja resistencia y alta transmisibilidad. Por lo tanto, en la preparación de películas ito, la selección racional y el control de la temperatura de deposición y el tratamiento de recocido posterior son muy críticos.
A través del análisis y la demostración anteriores, podemos concluir que el método de pulverización de magnetrón de radiofrecuencia puede mejorar las propiedades eléctricas y ópticas de las películas Ito ajustando la temperatura de deposición, proporcionando un apoyo factible y confiable para la aplicación de películas ito. Con la creciente demanda de aplicaciones de materiales de película delgada, se cree que al optimizar constantemente la tecnología de pulverización de magnetrón de radiofrecuencia, las propiedades de las películas Ito se mejorarán aún más.
Más investigaciones pueden explorar diferentes parámetros para la preparación de películas ito, como la presión de pulverización, la Potencia de entrada, etc., para optimizar aún más las propiedades de las películas y proporcionar apoyo para el desarrollo industrial en un campo más amplio.
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