El oro (ua) es un metal precioso con muchas propiedades excelentes, incluyendo buena conductividad eléctrica y estabilidad química. Debido a estas características, las películas au tienen una amplia gama de aplicaciones en varios campos, como semiconductores, Sistemas microelectromecánicos y biosensores.Película auLa pequeña resistencia eléctrica lo convierte en un material ideal en dispositivos como cables y electrodos.
Sin embargo, la diferencia en el coeficiente de expansión térmica entre la película au y el material del sustrato puede causar el fracaso de la película. Para resolver este problema, generalmente se utilizan capas de transición para reducir las diferencias. Entre la película au y el material del sustrato, la capa de transición común es la película de cromo (cr).
La película CR tiene una buena estabilidad y puede reducir efectivamente la diferencia de expansión térmica entre la película au y el sustrato. Además, la película CR también puede proporcionar una buena adherencia para garantizar un contacto cercano entre la película au y el sustrato, mejorando así el rendimiento del dispositivo.
Película CR / AULa estabilidad de la heteroestructura tiene un impacto directo en el rendimiento del dispositivo. Las heteroestructuras estables pueden resistir la influencia de factores ambientales externos, prolongando así la vida útil del dispositivo. Además, debido a la estabilidad química de las películas de au, es capaz de mantener propiedades estables en diversos entornos químicos, lo que es una de las ventajas importantes del uso de películas de au.
Sin embargo, aunque la heteroestructura de la película CR / AU tiene muchas ventajas, todavía hay algunos desafíos en el proceso de preparación práctica. Debido al alto costo de las películas de UA y los estrictos requisitos para las condiciones del proceso, no es fácil preparar heteroestructuras de películas de CR / AU de alta calidad. Por lo tanto, la tecnología de pulverización de magnetrón, como un método de preparación eficiente y controlable, ha atraído una gran atención.
El chorro de magnetrón es una tecnología de preparación de películas basada en plasma, que puede preparar películas de alta pureza y uniformidad en condiciones de vacío. En el proceso de preparación de películas CR / AU por pulverización magnética, primero es necesario colocar los objetivos de CR y au en la Cámara de reacción. Luego, el plasma se estimula calentando el objetivo y aplicando un campo magnético. Con los iones en el material objetivo como objetivo, se controlan las condiciones de pulverización para que los átomos de CR y au se pulverizaran en la superficie del sustrato, formando una película delgada de CR / au.
A travésTécnica de pulverización de magnetrónLas películas CR / AU preparadas tienen una buena uniformidad y densidad, lo que puede reducir efectivamente las diferencias de estrés y expansión térmica entre las películas au y el sustrato. Este método de preparación no solo puede obtener películas de alta calidad, sino también controlar el grosor y la composición de las películas para satisfacer las necesidades de diferentes aplicaciones.
En resumen, las películas au son ampliamente utilizadas en varios campos como materiales con buena conductividad eléctrica y estabilidad química. Para resolver el problema de la diferencia de expansión térmica entre la película au y el material del sustrato, la película CR se utiliza a menudo como capa de Transición. La estabilidad de la heteroestructura de la película CR / AU tiene un impacto importante en el rendimiento del dispositivo. Las películas CR / AU preparadas a través de la tecnología de pulverización de magnetrón tienen una excelente uniformidad y densidad, lo que puede resolver eficazmente el problema de la diferencia de expansión térmica, mejorando así el rendimiento y la estabilidad del dispositivo. La tecnología de pulverización de magnetrón proporciona un método eficiente y controlable para la preparación de películas CR / AU de alta calidad.
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