Película ItoComo material transparente conductor importante, tiene una amplia gama de aplicaciones en muchos campos. Para mejorar las propiedades de las películas ito, los investigadores científicos y tecnológicos de la academia avanzada experimentaron a través del método de pulverización de magnetrón de radiofrecuencia y estudiaron los cambios de temperatura durante el proceso de pulverización y el efecto del recocido posterior en las propiedades de las películas. Estos resultados y conclusiones experimentales se detallarán en el artículo de Ciencia y tecnología de la Academia avanzada.
1. método de pulverización de películas Ito por magnetrón de radiofrecuencia
1.1 microscopía electrónica de barrido (sem) para analizar la morfología de la superficie
1.2 efecto de la temperatura de pulverización en el tamaño del grano
1.3 mejora de las características eléctricas de las películas finas por recocido posterior
2. resultados experimentales y discusión
2.1 condiciones de pulverización y proceso de recocido
2.2 Mejora de las propiedades eléctricas de las películas finas
2.3 mejora de la transmisión óptica de las películas finas
3. Conclusiones
3.1 Las propiedades eléctricas y ópticas de las películas Ito se pueden mejorar mediante el chorro de magnetrón de radiofrecuencia.
3.2 en condiciones de presión de trabajo 1 pa, temperatura del sustrato 200 ° C y potencia de entrada 200 w, las muestras recoladas al vacío a 300 ° C durante 2 h obtuvieron una baja resistencia de 12,8 × 10 - 4 Omega · cm y una alta transmisibilidad del 94% en la banda de 800 nm.
En este estudio, los investigadores utilizaron el método de pulverización magnética de radiofrecuencia para cambiar
Película ItoPropiedades eléctricas y ópticas. A través del análisis de la microscopía electrónica de barrido (sem), se encontró que el tamaño del grano de las películas Ito aumentó con el aumento de la temperatura del sustrato. Esto puede atribuirse a la aceleración del crecimiento de los granos a altas temperaturas durante el proceso de pulverización, lo que conduce a un aumento del tamaño de los granos.
A continuación, los investigadores realizaron un tratamiento de recocido posterior de la película y encontraron que las propiedades eléctricas de la película habían mejorado significativamente. Durante el proceso de recocido, un mayor aumento de la cristalinidad ayuda a reducir la resistencia eléctrica de la película y, por lo tanto, mejorar la conductividad eléctrica. Después de dos horas de recolocación al vacío a 300 ° c, la resistencia eléctrica de la película alcanzó 12,8 × 10 - 4 Omega · cm, lo que indica que la película tiene buenas propiedades conductoras.
Además, las muestras recoladas posteriormente mostraron excelentes propiedades ópticas de alta transmisión a una presión de trabajo de 1 pa, una temperatura del sustrato de 200 ° C y una potencia de entrada de 200 W. La transmisión de la película en la banda de 800 nm alcanzó el 94%, lo que indica que la película tiene una alta transparencia.
En resumen, el método de pulverización de magnetrón de radiofrecuencia combinado con el tratamiento de recocido posterior puede mejorar significativamente.
Película ItoPropiedades eléctricas y ópticas. Esto es de gran importancia para ampliar aún más las aplicaciones de las películas Ito en dispositivos electrónicos, dispositivos optoelectrónicos y otros campos. Este estudio proporciona un método eficaz para la preparación y optimización de propiedades de las películas ito.
En resumen, las propiedades eléctricas y ópticas de las películas Ito se han mejorado significativamente a través de la tecnología de pulverización de magnetrón de radiofrecuencia y el tratamiento de recocido posterior. Esto es de gran importancia para las aplicaciones de películas Ito en los campos de la electrónica y la optoelectrónica. Nuevas investigaciones pueden contribuir a explorar más métodos y procesos que ayuden a mejorar las propiedades de las películas ito.
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