En el rápido desarrollo de la Ciencia y la tecnología, el chorro de magnetrón, como una tecnología de preparación de películas ampliamente utilizada, no solo tiene importantes aplicaciones en pantallas planas, semiconductores, células solares y otros campos, sino que también desempeña un papel clave en el nanoprocesamiento y la fabricación de dispositivos en la investigación experimental científica. Este artículo se centrará en la Ciencia y la tecnología de la Academia avanzada.Recubrimiento de ru de alta pureza por pulverización de magnetrónSu aplicación en varios equipos de pulverización de magnetrón, como sistemas de pulverización de un solo objetivo, sistemas de pulverización de múltiples objetivos y sistemas de pulverización de iones, y su encanto único en la fabricación de productos relacionados se exponen.
I. características y métodos de preparación del ru de alta pureza
1. características del ru ru de alta pureza
El ru de alta pureza es un material con buenas propiedades físico - químicas, que tiene las características de alta dureza, alto punto de fusión, excelente estabilidad química y buenas propiedades antioxidantes. Por lo tanto, es muy adecuado para la preparación y modificación de la superficie de varios materiales especiales.
2. método de preparación
Con el fin de obtener películas ru de alta calidad y alta pureza, el chorro de magnetón es un método de preparación común. Al utilizar un objetivo de alta pureza en un ambiente de vacío, bajo la acción de un campo magnético, los átomos o iones de la superficie del objetivo se salpican en la superficie del sustrato, obteniendo así una película con las propiedades deseadas.
2. aplicación de ru ru de alta pureza chapado por pulverización de magnetrón en el sistema de un solo objetivo
1. campo de visualización plana
La tecnología ru de alta pureza recubierta por pulverización magnética es ampliamente utilizada en la fabricación de dispositivos de visualización plana como paneles de pantalla LCD y diodos orgánicos emisores de luz. De alta purezaPelícula ru ruSe puede utilizar como material de electrodo, con baja resistencia eléctrica y buena conductividad eléctrica, lo que puede mejorar la velocidad de respuesta y el efecto de visualización del dispositivo de visualización.
2. el campo de los semiconductores
En el proceso de fabricación de dispositivos semiconductores, el ru ru de alta pureza chapado por pulverización magnética se puede utilizar para preparar películas metálicas, películas compuestas intermetálicas y películas estructurales multicapa. Estas películas delgadas juegan un papel importante en circuitos integrados, sensores, células solares y otros campos, mejorando el rendimiento y la fiabilidad de los dispositivos.
3. aplicación de ru ru de alta pureza chapado por pulverización de magnetrón en sistemas de pulverización multiobjetivo
El sistema de pulverización multiobjetivo es un dispositivo que puede utilizar múltiples objetivos para la pulverización al mismo tiempo, y el recubrimiento de ru ru de alta pureza por pulverización magnética juega un papel importante en él.
1. preparación de componentes ópticos
Al utilizar un sistema de pulverización multiobjetivo y ajustar la Potencia de pulverización y la proporción de pulverización del objetivo, se pueden preparar películas ópticas de estructura multicapa, como espejos, filtros de color, etc. El ru ru de alta pureza tiene buenas propiedades de transmisión de luz y resistencia a la corrosión en estos componentes ópticos, lo que puede mejorar la estabilidad y las propiedades ópticas de los componentes.
2. fabricación de vidrio de ahorro de energía
Las películas finas para vidrio de ahorro de energía se pueden preparar utilizando la tecnología ru ru de alta pureza de pulverización de magnetón en el sistema de pulverización multiobjetivo. Estas películas tienen excelentes propiedades de aislamiento térmico y transparencia óptica, lo que puede reducir efectivamente el consumo de energía de los edificios, mejorar la comodidad del Interior y ahorrar energía.
4. aplicación de ru ru de alta pureza chapado por pulverización de magnetrón en el sistema de pulverización de iones
El chorro de iones es una tecnología que utiliza iones para bombardear la superficie del objetivo para formar haces de iones de alta velocidad, combinada con la tecnología de pulverización de magnetrón para recubrir ru de alta pureza, puede mejorar aún más la calidad y las propiedades de las películas.
1. nanoprocesamiento
El chorro de iones puede formar nanoestructuras finas, y al controlar la energía y la dosis del haz de iones, se puede lograr la fabricación fina y la regulación de películas de ru ru de alta pureza. Esto es de gran importancia para el nanoprocesamiento y la fabricación de nanodispositivos.
2. investigación experimental científica
El sistema de pulverización iónica, combinado con la tecnología ru de alta pureza Chapada por pulverización magnética, puede preparar muestras de película delgada de alta calidad para experimentos e Investigaciones científicas. Estas muestras se pueden utilizar para caracterizar las propiedades físicas de los materiales, como la electricidad, el magnetismo y la óptica, y para estudiar en profundidad las características y el potencial de aplicación del ru de alta pureza.
Conclusión:
Recubrimiento de ru de alta pureza por pulverización de magnetrónComo una importante tecnología de preparación de películas finas, se ha utilizado ampliamente y profundamente en varios sistemas de objetivos únicos, sistemas de pulverización de objetivos múltiples y sistemas de pulverización de iones. No solo desempeña un papel importante en los campos de la pantalla plana, semiconductores, células solares, vidrio de ahorro de energía, sino que también tiene un encanto único en la investigación experimental científica y la fabricación de productos relacionados como el nanoprocesamiento. Con el desarrollo continuo de la Ciencia y la tecnología y el aumento de la demanda de aplicaciones, se cree que el ru ru de alta pureza chapado por pulverización magnética continuará brillando y calentándose en el futuro campo de la Ciencia y la tecnología para crear un futuro mejor.
es 
English
